1. 奈微米結構製程與光機電技術(奈米轉印、光學抗反射分析、光學特性、鑽石奈米針尖場發射特性、準分子雷射、飛秒雷射加工與分析)
2. 先進材料與精密製造技術(積層製造技術—3D列印技術、微結構壓電薄膜沈積、化學機械平坦化、硬脆材料製程、晶圓薄化)
3. 智慧製造
4. 碳系材料薄膜沈積與應用技術(鑽石薄膜、石墨烯、奈米碳管)
5. 影像處理與瑕疵檢測(自動光學檢測、半導體製程影像監控、移動載具監測外界移動物體、微小昆蟲特徵與行為監測)
6. 新興能源技術開發 (微生物燃料電池電極設計與製作、生質能藻體細胞破壁力學分析)
7. 金屬積層製造